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改良傳統工藝實現電子清洗廢水零排放
發布日期:2021-10-23 08:50 作者:微笑女王 來源:萊特萊德
集成電路是20世紀50年代末到60年代發展起來的一種新型半導體器件。經過氧化、光刻、擴散、外延和鋁蒸發等半導體制造工藝后,形成具有一定功能的電路所需的半導體、電阻、電容等元件以及它們之間的連接線都集成在一個小硅片上,然后焊接并封裝在管殼中。
在集成電路的制備過程中,為了獲得滿足清潔度要求的硅片,需要大量的水進行清洗,清洗過程中會產生大量的清洗廢水。電子清洗廢水主要污染物為高濃度懸浮顆粒物、酸堿污染和重金屬離子。萊特萊德對傳統的水解酸化+接觸氧化零排放工藝進行了改進。電子清洗廢水零排放處理工藝流程如下:
電子清洗廢水進入pH調節槽,控制pH值,以減少中和過程中的化學品量。pH調節池出水進入水解酸化池,經好氧池處理后進入MBR膜池,確保預處理出水水質達標穩定,水質滿足后續系統進水要求。MBR膜池出水進入ACF吸附過濾器,出水進入高效反滲透系統,反滲透采出水進入曲線微電導膜分離系統,出水進入UPW過濾池回用。反滲透產生的濃水進入AOP進行催化氧化處理,出水進入極限分離系統進行進一步處理。極限分離系統的氣田水進入曲線微電導膜分離系統,其出水與反滲透氣田水混合后進入UPW濾池回用。極限分離系統產生的濃水進入ED單元進行處理,其出水進入蒸發單元進行蒸發處理。實現電子清洗廢水零排放。
零排放:一種近零排放處理
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